4微米叉指電極單晶硅光電檢測氣體濕度生物傳感器芯片MEMS工藝IDE
| 【編號】BK2021012601 | 【CAS號】cas | ||
| 【貨號】BK2021012601 | 【規格】 | ||
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1.外形尺寸:4mm*6mm*0.52mm.
2．線寬:6 u m，線距:4 u m，指長:1.5mm，叉指對數:120(240指).3.電極襯底為單晶硅，硅片表面生長Si02，厚度為300nm;
4．金屬層結構:Cr/Au，厚度分別為10nm，100nm;
5.電極使用溫度范圍:-150℃～500℃;
6．主要用于各類化學,物理及醫療傳感器，性能可靠，質量穩定。7．量大價格從優。
我們提供各種叉指電極，包括不同形狀，不同尺寸，不同線寬線距，不同基材（氧化鋁陶瓷，PI/PET柔性材料，單晶硅)，不同工藝（厚膜工藝，PCB工藝，MEMS工藝)。
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2．線寬:6 u m，線距:4 u m，指長:1.5mm，叉指對數:120(240指).3.電極襯底為單晶硅，硅片表面生長Si02，厚度為300nm;
4．金屬層結構:Cr/Au，厚度分別為10nm，100nm;
5.電極使用溫度范圍:-150℃～500℃;
6．主要用于各類化學,物理及醫療傳感器，性能可靠，質量穩定。7．量大價格從優。
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